SEM納米探針臺產(chǎn)品實現(xiàn)了三維空間上的準確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點，可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運動操作。

SEM納米探針臺產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動，運無需潤滑，百分真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個三軸探針臺。平上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現(xiàn)微納操縱和測量的目的。

• 結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性

• 壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命

• 內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋

• 應(yīng)用：納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等

• 適配SEM：日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等

應(yīng)用案例：

對二維材料的電學測量              對器件的電學測量

對芯片的電學測量             對一維材料的電學測量