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Sensofar平面度測(cè)量白光干涉儀搭配0.65X物鏡，具有很大視野的物鏡和較高精度的載物臺(tái)，在平面度、平行度和臺(tái)階高度測(cè)量方面提供了較佳的表現(xiàn)。S neox 持續(xù)成為多功能性的先驅(qū);這次帶來了具有最大視野的物鏡放大倍率和最高精度的載物臺(tái)，在平面度、平行度和臺(tái)階高度量測(cè)方面提供了最佳表現(xiàn)。

西班牙Sensofar平面度測(cè)量白光干涉儀S neox 0.65X，以優(yōu)秀的橫向和縱向分辨率測(cè)量平面度。S neox搭配0.65X物鏡，具有最大視野的物鏡和最高精度的載物臺(tái)，在平面度、平行度和臺(tái)階高度測(cè)量方面提供了最佳的表現(xiàn)。Sensofar自己設(shè)計(jì)的0.65X邁克爾遜物鏡旨在實(shí)現(xiàn)一個(gè)目的:以快速準(zhǔn)確的方式測(cè)量平面度。密集采樣、大視野和干涉測(cè)量的結(jié)合確保了所預(yù)期的效果。