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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀 ZeGage Pro 可直接用于生產(chǎn)的三維光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)。 ZeGage™ Pro和 ZeGage™ Pro HR 三維光學(xué)輪廓儀可對(duì)多種類型表面的微米和納米級(jí)特征進(jìn)行非接觸式測量和表征，實(shí)現(xiàn)制造環(huán)境中的質(zhì)量控制和過程監(jiān)控。

ZYGO 光學(xué)輪廓儀 NewView 9000 提供了強(qiáng)大、多功能的非接觸式光學(xué)表面分析。它可以簡單和快速地測量各種表面類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測量都是無損、快速、無需樣品制備的。

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Nexview NX2 是為更高應(yīng)用需求設(shè)計(jì)的，集超精密、先進(jìn)算法、應(yīng)用靈活性和自動(dòng)化為一體，優(yōu)異展現(xiàn)了ZYGO相干掃描干涉(CSI)技術(shù)的能力。 采用的是非接觸式測量技術(shù)，具有亞納米測量精度（所有放大倍數(shù)下），可以更快更好地測量各種樣品表面，是一款具有非常高投資回報(bào)率的產(chǎn)品